Наведено результати дослідження властивостей тонких поруватих плівок SiOx, одержаних за допомогою термічного випаровування у вакуумі, та термостимульованих структурних перетворень у цих плівках. Виявлено зміну значення x та зміну поруватості залежно від кута між напрямком потоку випаровуваної речовини та нормаллю до підкладки. Проведено дослідження спектрів інфрачервоного (ІЧ) поглинання та спектрів фотолюмінесценції в даних плівках. Значення x для напилених плівок визначено двома способами: зі спектрів поглинання у видимій області та з положення максимуму поглинання в ІЧ-області, поблизу 1 100 <$E roman см sup -1>. Зразки відпалено за температури 1 020 <$E symbol Р>C в атмосфері азоту протягом 30 хв. З'ясовано, що внаслідок термообробки відбувається розшарування субоксиду кремнію на дві фази: на нанокристали кремнію та матрицю SiO2. Розмір нанокристалів і їх об'ємний вміст залежить від поруватості вихідної плівки. Зроблено висновок про можливість контрольовано змінювати спектральний склад фотолюмінесценції структур з нанокристалами кремнію за рахунок зміни кута осадження.

Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + З843.312-01

Рубрики:

Одержання плівок

Кремній та його сполуки

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Данько Віктор Андрійович (фізико-математичні науки)
• Індутний Іван Захарович (1949–) (фізико-математичні науки)
• Майданчук Іван Юрійович (фізико-математичні науки)
• Минько Віктор Іванович (фізико-математичні науки)
• Шепелявий Петро Євгенович (технічні науки)
• Юхимчук Володимир Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"