РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000144960<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Ambrosov S. V. 
Laser photoionization technology and new equipment principal scheme for preparing the films of super pure composition at atomic level = Лазерно-фотоіонізаційна технологія і нова принципіальна схема установки для виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні / S. V. Ambrosov // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2005. - № 2. - С. 38-41. - Библиогр.: 13 назв. - англ.

Розроблено нові схеми лазерно-фотоіонізаційної технології контролю й очищення напівпровідникових речовин і виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні. Представлено нову принципіальну схему відповідних установок.


Ключ. слова: laser photo-ionization technology, preparing films, cleaning semiconductors, optimal schemes
Індекс рубрикатора НБУВ: К345.5 + Ж619

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ 
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського