Olikh Ja. M. Active ultrasound effects and their future usage in sensor electronics = Ефекти активного ультразвуку та перспектива їх використання в сенсорній електроніці / Ja. M. Olikh, O. Ya. Olikh // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2004. - № 1. - С. 19-29. - Библиогр.: 58 назв. - англ.Систематизовано різноманітні явища й ефекти ультразвуковї дії на фізичні характеристики дислокаційних кристалів типу A2B6(CdS, ZnS, CdxHg1-хТе) та бездислокаційних (Ge, Si); наведено результати для напівпровідникових світловипромінювальних структур (GaAs, GaAlAs, GaP); проаналізовано можливості використання активного ультразвуку (УЗ) у технології мікроелектронних приладів (термоакустичний відпал дефектів, акустостимульоване легування за допомогою методу імплантації іонів домішок). Розглянуто динамічні ефекти (in-situ), які проявляються лише під час дії УЗ. Обговорено можливі механізми таких акустостимульованих ефектів та їх застосування. Розглянутий спектр фізичних та технологічних ефектів УЗ у напівпровідниках запропоновано для наступного їх використання в сенсорній електроніці. Ключ. слова: semiconductors, ultrasound, active ultrasound, crystal defects, sensor electronics Індекс рубрикатора НБУВ: З85 + В379.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|