Изучен характер растворения нелегированного и легированного InAs в растворах системы HNO3 - HBr-диметилформамид. Построены поверхности равных скоростей травления указанных полупроводниковых материалов и определены лимитирующие стадии процесса. Показано, что в обоих случаях нелегированного и легированного InAs процесс растворения в полирующих растворах лимитируется диффузионными стадиями. Установлено, что легирование арсенида индия оловом приводит к существенному снижению скорости растворения InAs. Определены концентрационные пределы растворов, которые могут быть использованы для различных химических обработок (полирование, селективное травление, химическая резка) арсенида индия.

• Кусяк Наталія Володимирівна (1974–) (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"