Розроблено алгоритм оберненої згортки для моделювання пошарового аналізу під час іонного розпилення багатошарових тонкоплівкових структур. У цьому випадку використано метод умовного градієнта з урахуванням апріорної інформації про характер монотонності концентраційного профілю. Встановлено, що математичне моделювання дає змогу істотно зменшити спотворення істинної форми концентраційного профілю.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"