Досліджено вплив обробки атомарним воднем на кристали германію з плівками міді за температур 300 - 310 К і концентрацій атомарного водню <$E 5~cdot~10 sup 13~-~10 sup 15~roman см sup -3 >. Обробляли зразки розмірами <$E 5~times~4> мм протягом 150 - 7200 с. Проаналізовано вплив атомарного водню на вольт-амперні характеристики (ВАХ) зразків та інші електрофізичні параметри, зокрема, питомий опір, рухливість, час життя, коефіцієнт дифузії та довжину вільного пробігу носіїв заряду. За нахилом кривої температурної залежності провідності визначено положення енергетичних рівнів дефектів у зразках, що піддавалися обробці атомарним воднем різної тривалості. Виявлено, що ВАХ зразків під впливом короткочасної обробки набуває випрямного вигляду. Зазначено, що після обробки протягом 600 с за концентрації водню 10<^>14 см<^>-3 значно підвищується адгезія плівки. Наведено пояснення спостережені явища.

• Матюшин Володимир Михайлович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"