За допомогою методів рентгенівської дифракції, рентгенотензометрії та резистометрії досліджено твердофазні реакції в плівкових системах Mn/Si і (Mn + Si)/Si завтовшки 100 нм. Плівки Mn/Si одержано електронно-променевим осадженням Mn на підкладку кремнію за кімнатної температури, а плівки (Mn + Si)/Si - одночасним електронно-променевим осадженням Mn (24, 27, 30 % ат.) і Si на підігріту до 720 К підкладку кремнію. Вакуумні відпали плівок проведено в температурному інтервалі 570 - 1070 К протягом 10 - 60 хв. Показано, що фаза <$E roman MnSi sub 1,73> реєструється в плівках Mn/Si після відпалу за 770 К протягом З0 хв; у плівках (Mn + Si)/Si - одразу після осадження. Збільшення концентрації Mn супроводжується збільшенням кількості фази <$E roman MnSi sub 1,73> та розтягувальних напруг. Встановлено, що підвищення температури відпалу призводить до зменшення електроопору плівок двох систем.

• Сидоренко Сергій Іванович (1947–) (технічні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1966–) (філологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"