Розкрито основи побудови мікро- та наноперетворювачів механічних величин. Охарактеризовано принципи конструювання перетворювачів. Описано мікро- та нанотехнології. Розглянуто питання вибору матеріалів і технології виготовлення у процесі розробки мікро- та наносистем і їх елементів. Увагу приділено методології, етапам і засобам проектування систем на кристалі та мікроелектромеханічних системах (МЕМС). Проаналізовано програмні засоби моделювання та проектування МЕМС. Наведено приклади реалізації систем на основі концепції "система на кристалі".

Раскрыты основы построения микро- и нанопреобразователей механических величин. Охарактеризованы принципы конструирования преобразователей. Описаны микро- и нанотехнологии. Рассмотрены вопросы выбора материалов и технологии при разработке микро- и наносистем и их элементов. Внимание уделено методологии, этапам и средствам проектирования систем на кристалле и микроэлектромеханических системах (МЭМС). Проанализированы программные средства моделирования и проектирования МЭМС. Приведены примеры реализации систем на основе концепции "система на кристалле".

• Гераїмчук Михайло Дем'янович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"