Проведено комплекс досліджень стосовно зниження запиленості ламінарних повітряних потоків в чистих технологічних зонах. Розроблено конструкції аероіонізаторів, які підвищують на порядок клас чистоти, а також нейтралізують електростатичний заряд та стабілізують вологість і температуру в чистих технологічних зонах формування субмікронних структур ВІС.

In this paper the offered model of raising the purity class in a local workpiece range of silicon laminas aeroionization of laminar airflows, founded on Brown driving and mechanics of the Stokes, electrostatic forces also is rotined, that parts, whichone pollute a surface of the chemically treated Si-laminas are charged and the electrostatic potential can reach 10-15 kV. It essentially reduces electrical stability and reliability of structures VLSI

• Новосядлий Степан Петрович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"