Рассмотрены и классифицированы различные вакуумно-плазменные методы. Описаны техническое оборудование и оснастка для осаждения покрытий. Представлена технологическая структурно-функциональная схема. Приведены результаты исследований структуры, физико-механических и триботехнических свойств покрытий. Освещены тепловые процессы при нанесении покрытий и остаточные напряжения в них.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"