Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000060945<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Савицкий Г. В Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" / Г. В Савицкий, А. Ю. Бончик, И. И. Ижнин, С. Г. Кияк, И. А. Могиляк, И. П. Тростинский // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2002. - № 6. - С. 45-47. - Библиогр.: 5 назв. - рус.Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени <$Esymbol Ы>0,01 секунды с визуальным контролем. Індекс рубрикатора НБУВ: З852-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|