Пивоваров А. Л. Расчет средней энергии бомбардирующих поверхность катода частиц плазмы аномального тлеющего разряда в атмосфере инертного газа / А. Л. Пивоваров // Металлофизика и новейшие технологии. - 2000. - 22, № 8. - С. 49-59. - Библиогр.: 16 назв. - рус.Для аномального жевріючого розряду в атмосфері інертного газу (He, Ne, Ar, Kr і Xe) та трьох значень роботи виходу матеріалу катода ephi побудовано залежності величини середньої енергії частинок < Ei + n >, що бомбардують катод, від відношення густини розрядного струму до квадрата тиску робочого газу j / p2. Для розрахунку значень < Ei + n > використано енергетичні розподіли іонів і швидких атомів, створених з використанням припущення, згідно з яким величина енергії, яку набирає іон, що рухається в області катодного падіння потенціалу (КПП), обмежується, головним чином, ефективністю протікання процесів симетричної резонансної перезарядки. Показано, що для однакових значень j / p2 величина < Ei + n > є максимальною у разі використання атмосфери неону, а мінімальною - для ксенону. Встановлено, що середня енергія іонів, котрі бомбардують катод, приблизно у двічі вища за середню енергію швидких атомів. Побудовано залежності величини КПП Uc і кількості швидких атомів L / l, що з'являються в області КПП у разі потрапляння до неї одного іона, від величини j / p2 під час варіювання типу інертного газу та значень ephi. Запропоновано емпіричні формули для обчислення величин Uc та < Ei + n >. Ключ. слова: плазма тлеющего разряда, катодное падение потенциала, энергия ионов и атомов, бомбардирующие поверхность катода частицы Індекс рубрикатора НБУВ: В333.26
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|