Изучена возможность легирования алмазоподобных пленок (АПП) редкоземельными металлами (РЗМ), а также исследованы АПП, высоколегированные Si. Безводородные АПП легировались Ce, Pr, и Si в процессе их получения методом ионно-лучевого осаждения. Атомная концентрация Si достигала 50 %, что соответствует стехиометрии карбида кремния. Атомная концентрация РЗМ достигала нескольких процентов. Легированные АПП подвергались отжигу на воздухе до температуры 500 °C и в вакууме - до 1050 °C. Пленки, легированные Si, проявили высокую устойчивость и стабильность характеристик при отжиге на воздухе и в вакууме, в то время как у легированных пленок РЗМ изменялись оптические характеристики уже при температуре отжига 300 °C. В спектрах поглощения легированных АПП, осажденных на кварцевые подложки, обнаружены полосы поглощения в ультрафиолетовом и видимом диапазонах, соответствующие 4f - 5d электронным переходам в Ce и Pr. Интенсивность полос поглощения изменялась после низкотемпературного отжига.

• Семенов Андрій Валерійович (медичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"