Влчек М. Многокомпонентные халькогенидные неорганические резисты: свойства и применение в дифракционной оптике / М. Влчек, А. В. Стронский, П. Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 1998. - № 33. - С. 137-141. - Библиогр.: 17 назв. - рус.Исследованы оптические и химические свойства тонких пленок As40S60-x Sex и их применение для получения дифракционных оптических элементов. Оптические постоянные вычислялись из данных по пропусканию в спектральном интервале 0,3 - 2,5 мкм. Энергетические зависимости индекса преломления n(E) хорошо описывались одноосцилляторной моделью. Представлены композиционные зависимости n(lambda), параметров одноосцилляторной модели: E0 (энергии осциллятора), дисперсионной энергии Ed и для некоторых составов проведено сравнение с данными, полученными другими авторами. Исследована кинетика растворения свеженапыленных и облученных пленок As40S60-xSex в травителях на основе аминов (включая неводные растворы на основе триэтиламина). Получены дифракционные решетки с субмикронными и микронными (6 - 12 мкм) периодами. Дифракционная эффективность для решеток с периодом 6 мкм составляла ~20 - 26 % (пропускание, неполяризованный свет, первый порядок дифракции). Для отражательных решеток с пространственными частотами 1800 - 2400 мм-1 значения дифракционной эффективности в поляризованном свете составляли 80 - 90 %. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6 + В343.41
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|