Для расчета радиального распределения химического состава покрытий карбида титана, осажденных при магнетронном распылении на постоянном токе составных мишеней из Ti и C, была построена математическая модель, учитывающая радиальное распределение скорости распыления составляющих мишени, косинусоидальное угловое распределение направлений движения распыленных атомов, а также меняющийся с выработкой рельеф поверхности титановой составляющей мишени. При этом в распылительной системе использовался постоянный ток, а зона эрозии имела кольцевую симметрию. Изучено влияние геометрических параметров системы на радиальное распределение концентрации составных элементов, определено оптимальное геометрическое соотношение составляющих мишени, необходимое для получения покрытий на базе соединения TiC. Методом дифракции электронов исследовано радиальное распределение фазового состава начального этапа роста покрытий.

• Перекрестов Вячеслав Іванович (фізико-математичні науки)
• Павлов Андрій Володимирович (технічні науки)
• Павлов Андрій Володимирович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"