Подано фізико-хімічні, механічні та експлуатаційні характеристики нітриду кремнію та галузі використання виробів з нього. Наведено параметри процесу азотування відпрацьованого сіліцію в процесі виробництва трихлорсилану. Проаналізовано хімічний склад порошків, отриманих за умов даного виробництва, з наступним рафінуванням та без нього.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"