Макогон Ю. Н. Импульсный фотонный отжиг как альтернативный метод термической обработки тонкопленочных систем тантал, титан--вольфрам на кремнии / Ю. Н. Макогон, Л. П. Максимович, С. И. Сидоренко, И. С. Фирстова // Металлофизика и новейшие технологии. - 1999. - 21, № 8. - С. 55-60. - Библиогр.: 10 назв. - рус.Методами фізичного матеріалознавства досліджено процеси фазових перетворень, перерозподілу домішок та електрофізичні властивості тонкоплівкових (завтовшки до 300 нм) систем тантал - кремній, титан - вольфрам - кремній, які піддано імпульсному фотонному відпалу та відпалу у вакуумі. Встановлено послідовність фазових перетворень, які відбуваються у досліджуваних системах у процесі відпалу; імпульсний фотонний відпал є переважним методом термічної обробки. Досліджено роль поверхні в процесах перерозподілу домішок по товщині плівки. Ключ. слова: импульсный фотонный отжиг, тонкопленочные системы, термическая обработка Індекс рубрикатора НБУВ: К235.104
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|