РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000008249<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Макогон Ю. Н. 
Импульсный фотонный отжиг как альтернативный метод термической обработки тонкопленочных систем тантал, титан--вольфрам на кремнии / Ю. Н. Макогон, Л. П. Максимович, С. И. Сидоренко, И. С. Фирстова // Металлофизика и новейшие технологии. - 1999. - 21, № 8. - С. 55-60. - Библиогр.: 10 назв. - рус.

Методами фізичного матеріалознавства досліджено процеси фазових перетворень, перерозподілу домішок та електрофізичні властивості тонкоплівкових (завтовшки до 300 нм) систем тантал - кремній, титан - вольфрам - кремній, які піддано імпульсному фотонному відпалу та відпалу у вакуумі. Встановлено послідовність фазових перетворень, які відбуваються у досліджуваних системах у процесі відпалу; імпульсний фотонний відпал є переважним методом термічної обробки. Досліджено роль поверхні в процесах перерозподілу домішок по товщині плівки.


Ключ. слова: импульсный фотонный отжиг, тонкопленочные системы, термическая обработка
Індекс рубрикатора НБУВ: К235.104

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського