|
|
РА326608
 Вербицький, Володимир Григорович.
Фізико-технологічні основи електронно-йонних методів створення наноструктур функціональних елементів для НВІС [Текст] : автореф. дис... д-ра техн. наук: 05.27.01 / Вербицький Володимир Григорович ; Національний технічний ун-т України "КПІ". - К., 2003. - 36 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Національний технічний університет України "КПІ" (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|