ІС12097
"Mikromechanik & Mikroelektronik", Fachtagung (5 ; 2001 ; Chemnitz).
Chemnitzer Fachtagung: Mikromechanik und Mikroelektronik [Text] : 23-24 Okt. 2001 / Technische Universität Chemnitz. - Chemnitz : [б.в.], 2001. - 267 p.: fig. - Бібліогр.: v kinci st.

Рубрикатор НБУВ:
 З8/9 я43 
 К961.5 я43 
Тематичні рубрики:
 Радіоелектроніка 
 Технологія виробництва малогабаритних (мініатюрних) приладів 


Дод. точки доступу:
Technische Universität Chemnitz

Видання зберігається у :