|
|
MFI4281/1-2
Haueis, Martin.
Encapsulated micromachined resonant force sensor [Text] : diss. / M. Haueis ; Swiss Federal institute of technology Zürich. - Zürich : [б.в.], 2000. - 162 p.: fig. - (ETH-DISS ; 13983)
2 mfisheРубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Swiss Federal institute of technology Zürich
Видання зберігається у :
|
|