|
|
ДС43883сл
Павленко, Анатолий Алексеевич.
Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых СВЧ-приборов [Текст] : дис...д-ра физ.-мат.наук:01.04.07 / Павленко Анатолий Алексеевич ; АН Украины, Ин-т ядер. исслед., Отд-ние проблем атом. энергетики. - К., 1993. - 226 л. - Бібліогр.: л. 214-226.
Для сл.пользованияРубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Академия наук Украины (Киев); Институт ядерных исследований (Киев). Отделение проблем атомной энергетики
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|