|
|
ДС66212
Данчишин, Ігор Васильович.
Розробка методів та засобів забезпечення технологічності МОН-структур мікроелектронних пристроїв в умовах автоматизованого виробництва [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.27.01 / Данчишин Ігор Васильович ; Державний ун-т "Львівська політехніка". - Л., 1999. - 192 арк. - арк. 165-179Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Державний університет "Львівська політехніка"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|