ВА622167
Бахвалов, Сергей Григорьевич.
Обеспечение чистых технологий [Текст] : учеб. пособие к курсу "Материаловедение полупроводников и диэлектриков". Курс 5, семестр 10 / С. Г. Бахвалов [и др.] ; Красноярский гос. ун-т, Научно-исследовательский инженерный центр "Кристалл". - Красноярск : [б.и.], 2000. - 174 с.: рис. - Библиогр.: с. 171. - ISBN 5-7638-0246-2
Авт. указ. на обороте тит. л.

Рубрикатор НБУВ:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Бахвалова, Ирина Петровна; Красикова, Елена Павловна; Красноярский гос. университет; Научно-исследовательский инженерный центр "Кристалл"

Видання зберігається у :
Основний фонд