|
|
ДС90665
Казаков, Анатолий Иванович.
Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов [Текст] : дис... д-ра техн. наук: 05.27.06 / Казаков Анатолий Иванович ; Одесский политехнический ин-т. - О., 1992. - 325 л.: рис. - Библиогр.: л. 282-323Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Одесский политехнический институт
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|