|
|
ДС47219
Матвийкив, Олег Михайлович.
Разработка моделей и методов газофазного осаждения в узлах сложной формы для технологических САПР РЭС [Текст] : дис...канд. техн. наук: 05.13.05 / Матвийкив Олег Михайлович ; Санкт- Петербургский электротехнический ун-т. - СПб., 1995. - 238 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Санкт- Петербургский электротехнический университет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|