|
|
РА291946
Панкевич, Ігор Миронович.
Прогнозування та модифікація лазерним випромінюванням властивостей шарів полікремнію в структурах "кремній- на - діелектрику" [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 05.27.01 / Панкевич Ігор Миронович ; Державний ун-т "Львівська політехніка". - Львів, 1996. - 22 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Державний університет "Львівська політехніка"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|