![]() | Наукова періодика України |
| Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии |
Баранов О.О. Теоретическая модель разряда магнетронного распылительного устройства / О.О. Баранов // Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии. - 2014. - Вып. 64. - С. 102-119. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/vikt_2014_64_14 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Баранов О.О. Теоретическая модель разряда магнетронного распылительного устройства / О.О. Баранов // Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии. - 2014. - Вып. 64. - С. 102-119. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/vikt_2014_64_14.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||