Наукова періодика України Технічні науки та технології

Болотов М. 
Оптимізація процесу осадження тонких металевих плівок у тліючому розряді з порожнистим катодом / М. Болотов // Технічні науки та технології. - 2016. - № 3. - С. 104-112. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/tnt_2016_3_14
Наведено результати застосування методів математичного планування експерименту з метою визначення найбільш впливових на процеси формування та росту металевого тонкоплівкового покриття параметрів режиму осадження у тліючому розряді з порожнистим катодом. У результаті роботи одержано регресійну математичну модель, яка надає змогу одержати результати з 4 - 6 % похибкою відносно експериментальних.
  Повний текст PDF - 526.35 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Болотов М.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Болотов М. Оптимізація процесу осадження тонких металевих плівок у тліючому розряді з порожнистим катодом / М. Болотов // Технічні науки та технології. - 2016. - № 3. - С. 104-112. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/tnt_2016_3_14.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Болотов Максим Геннадійович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського