Наукова періодика України Системи управління, навігації та зв'язку

Филипенко О. І. 
Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь МОЕМС-перемикачів / О. І. Филипенко, О. О. Чала, М. І. Відешин // Системи управління, навігації та зв'язку. - 2017. - Вип. 2. - С. 61-63. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/suntz_2017_2_19
Розглянуто основні дефекти та способи їх мінімізації, що виникають під час виробництва кремнієвих підкладок, які використовуються у якості функціональних відбиваючих поверхонь для МОЕМС-перемикачів та безпосередньо впливають на якість оптичних дзеркал та внесені втрати у оптичну систему в цілому.
  Повний текст PDF - 496.167 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Филипенко О.
  • Чала О.
  • Відешин М.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Филипенко О. І. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь МОЕМС-перемикачів / О. І. Филипенко, О. О. Чала, М. І. Відешин // Системи управління, навігації та зв'язку. - 2017. - Вип. 2. - С. 61-63. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/suntz_2017_2_19.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Филипенко Олександр Іванович (технічні науки)
  • Чала Олена Олександрівна (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського