Оценка способов измерения скорости осаждения кремния, как условия обеспечения адекватности модели для управления Siemens-реактором

Шварцман, Л. Я.; Троценко, Э. А.; Баженов, Е. В.; Баженов, П. Е.


	Наукова періодика України		Системні технології

Шварцман Л. Я.
Оценка способов измерения скорости осаждения кремния, как условия обеспечения адекватности модели для управления Siemens-реактором / Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, П. Е. Баженов // Системні технології. - 2015. - Вип. 4. - С. 109-120. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/st_2015_4_16

Выполнен анализ параметров управления процессом водородного восстановления трихлорсилана в "Siemens-реакторе". Предложен новый способ определения управляемого параметра, что устраняет увеличение абсолютной ошибки его измерения по мере ведения процесса.

Повний текст PDF - 471.95 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Шварцман Л. Я. Оценка способов измерения скорости осаждения кремния, как условия обеспечения адекватности модели для управления Siemens-реактором / Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, П. Е. Баженов // Системні технології. - 2015. - Вип. 4. - С. 109-120. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/st_2015_4_16.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача