Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния

Куцова, В. З.; Тимошина, М. И.; Носко, О. А.; Тимошина, Г. Г.


	Наукова періодика України		Системні технології

Куцова В. З.
Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния / В. З. Куцова, М. И. Тимошина, О. А. Носко, Г. Г. Тимошина // Системні технології. - 2013. - Вип. 2. - С. 115-123. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/st_2013_2_16

Проведен расчет энергии связи и зарядовой плотности кремния при легировании двумя примесями. Показано влияние термообработки на микроструктуру и микротвердость легированного кремния. Разработаны способы термической обработки подложек кремния, что позволило повысить выход годной продукции.

Повний текст PDF - 1.673 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Куцова В. З. Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния / В. З. Куцова, М. И. Тимошина, О. А. Носко, Г. Г. Тимошина // Системні технології. - 2013. - Вип. 2. - С. 115-123. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/st_2013_2_16.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Куцова Валентина Зиновіївна (технічні науки)

Носко Ольга Анатоліївна (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача