Наукова періодика України | Системні технології | ||
Куцова В. З. Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния / В. З. Куцова, М. И. Тимошина, О. А. Носко, Г. Г. Тимошина // Системні технології. - 2013. - Вип. 2. - С. 115-123. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/st_2013_2_16 Проведен расчет энергии связи и зарядовой плотности кремния при легировании двумя примесями. Показано влияние термообработки на микроструктуру и микротвердость легированного кремния. Разработаны способы термической обработки подложек кремния, что позволило повысить выход годной продукции. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Куцова В. З. Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния / В. З. Куцова, М. И. Тимошина, О. А. Носко, Г. Г. Тимошина // Системні технології. - 2013. - Вип. 2. - С. 115-123. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/st_2013_2_16.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |