Гибридные системы для электронно-лучевого испарения и ионного распыления

Кузьмичев, А. И.; Устинов, А. И.; Руденко, А. Э.; Дрозд, И. М.


	Наукова періодика України		Сучасна електрометалургія

Кузьмичев А. И.
Гибридные системы для электронно-лучевого испарения и ионного распыления / А. И. Кузьмичев, А. И. Устинов, А. Э. Руденко, И. М. Дрозд // Сучасна електрометалургія. - 2019. - № 4. - С. 18-25. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sovele_2019_4_5

Повний текст PDF - 983.765 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Кузьмичев А. И. Гибридные системы для электронно-лучевого испарения и ионного распыления / А. И. Кузьмичев, А. И. Устинов, А. Э. Руденко, И. М. Дрозд // Сучасна електрометалургія. - 2019. - № 4. - С. 18-25. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sovele_2019_4_5.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Устінов Анатолій Іванович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача