Исследованы морфология поверхности, микроструктура, элементный и фазовый составы толстых конденсатов TiO2, полученных способом EB PVD, в зависимости от температуры конденсации Tп. Экспериментальные исследования конденсатов проведены с применением рентгенодифракционного метода, оптической, растровой и просвечивающей электронной микроскопии. При формировании конденсатов TiO2 в интервале температур конденсации <$E 120~-~1200~symbol Р>C зафиксированы теже закономерности, что и для большинства неорганических материалов: формирование наноразмерной до Tп << 0,3Tпл и столбчатой структур в интервале 0,3Tпл << Tп << 0,5Tпл. Дополнительный вклад в размерность и морфологию структуры вносят полиморфные превращения. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур осаждения. В интервале Tп <$E 120~-~700~symbol Р>C формируется фрактальная структура с размерностью 2,92 - 2,95. Приведены результаты измерений электрической прочности конденсатов диоксида титана. Полученные способом вакуумного осаждения различные формы TiO2 (покрытия, конденсированные материалы, наночастицы) с заданными морфологией и функциональными свойствами являются перспективными для многих направлений в технике и медицине.

  Повний текст PDF - 808.028 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"