![]() | Наукова періодика України |
| Сучасна електрометалургія |
Егоров С. Г. Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С. Г. Егоров, И. Ф. Червоный, Р. Н. Воляр // Современная электрометаллургия. - 2009. - № 3. - С. 36-39. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sovele_2009_3_9 Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагнитное поле подогревающего индуктора оказывает влияние на условия выращивания монокристаллов. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Егоров С. Г. Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С. Г. Егоров, И. Ф. Червоный, Р. Н. Воляр // Современная электрометаллургия. - 2009. - № 3. - С. 36-39. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sovele_2009_3_9. |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||