Наукова періодика України Сучасна електрометалургія

Березос В. А. 
Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В. А. Березос, А. Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. - 2009. - № 3. - С. 29-31. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sovele_2009_3_7
Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей.
  Повний текст PDF - 589.494 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Березос В.
  • Ерохин А.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Березос В. А. Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В. А. Березос, А. Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. - 2009. - № 3. - С. 29-31. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sovele_2009_3_7.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського