Model of simulation of the process of formation of functional surfaces of micro-opto-electro-mechanical systems’ components

Nevliudov, I.; Chala, O.; Filipenko, O.; Botsman, I.


	Наукова періодика України		Системи озброєння і військова техніка

Nevliudov I.
Model of simulation of the process of formation of functional surfaces of micro-opto-electro-mechanical systems’ components / I. Nevliudov, O. Chala, O. Filipenko, I. Botsman // Системи озброєння і військова техніка. - 2020. - № 2. - С. 73-82. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/soivt_2020_2_12

Повний текст PDF - 731.291 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Nevliudov I. Model of simulation of the process of formation of functional surfaces of micro-opto-electro-mechanical systems’ components / I. Nevliudov, O. Chala, O. Filipenko, I. Botsman // Системи озброєння і військова техніка. - 2020. - № 2. - С. 73-82. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/soivt_2020_2_12.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача