Наукова періодика України | Системи обробки інформації | ||
Неежмаков К. П. Перспективы развития нанометрологии в Украине с использованием растровых электронных микроскопов / К. П. Неежмаков // Системи обробки інформації. - 2011. - Вип. 6. - С. 181-184. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/soi_2011_6_47 Развитие микроэлектроники, микромеханики, нанотехнологий требует совершенствования методов измерения линейных размеров элементов топологии микросхем, анализа поверхностных структур, а также требует средств измерений, подтверждающих достоверность результатов измерений размеров реальных объектов и их элементного состава. Измерения линейных размеров в микронном и субмикронном диапазонах методом растровой электронной микроскопии на сегодняшний день считаются одними из наиболее точных. Следует отметить, что ведущие страны мира, занимающие ключевые позиции в микроэлектронике, вопросам внедрения метрологии в практику линейных измерений в микро- и нанометровом диапазонах уделяют первостепенное значение. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Неежмаков К. П. Перспективы развития нанометрологии в Украине с использованием растровых электронных микроскопов / К. П. Неежмаков // Системи обробки інформації. - 2011. - Вип. 6. - С. 181-184. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/soi_2011_6_47. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |