Описан разработанный новый метод калибровки эталонов толщины покрытия. Метод заключается в осязании верхней поверхности эталона и, по результатам осязания, в расчете уравнения предсказываемого профиля поверхности основания, покрытой покрытием, по двум уравнениям профиля поверхности основания, полученным на основе результатов осязания непокрытой поверхности основания. Толщина покрытия определяется как расстояние между профилем верхней поверхности покрытия и предсказываемым профилем основания, покрытого покрытием.

  Повний текст PDF - 703.745 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"