Влияние электронно-лучевого рафинирования кремния на его структуру

Овчарук, А. Н.; Тутык, В. А.; Ладохин, С. В.; Филев, А. С.; Литвиненко, Е. И.; Сафьян, П. П.; Цветков, И. В.


	Наукова періодика України		Будівництво, матеріалознавство, машиностроение

Овчарук А. Н.
Влияние электронно-лучевого рафинирования кремния на его структуру / А. Н. Овчарук, В. А. Тутык, С. В. Ладохин, А. С. Филев, Е. И. Литвиненко, П. П. Сафьян, И. В. Цветков // Строительство. Материаловедение. Машиностроение. Серия : Стародубовские чтения. - 2011. - Вып. 58. - С. 492-498. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/smmsc_2011_58_74

Повний текст PDF - 110.862 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Овчарук А. Н. Влияние электронно-лучевого рафинирования кремния на его структуру / А. Н. Овчарук, В. А. Тутык, С. В. Ладохин, А. С. Филев, Е. И. Литвиненко, П. П. Сафьян, И. В. Цветков // Строительство. Материаловедение. Машиностроение. Серия : Стародубовские чтения. - 2011. - Вып. 58. - С. 492-498. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/smmsc_2011_58_74.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача