Наукова періодика України Надтверді матеріали

Филатов Ю. Д. 
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю. Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. - 2018. - № 4. - С. 71-81. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2018_4_9
В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8 - 173,2<$Esymbol Р>, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4 - 1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываемой поверхности в зоне, толщина которой приблизительно равна среднему радиусу зерна полировального порошка.
  Повний текст PDF - 359.698 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Филатов Ю.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Филатов Ю. Д. Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю. Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. - 2018. - № 4. - С. 71-81. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2018_4_9.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського