Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления

Шагинян, Л. Р.; Горбань, В. Ф.; Крапивка, Н. А.; Фирстов, С. А.; Копылов, И. Ф.

Установлено, что покрытия высокоэнтропийного эквиатомного сплава Al - Cr - Fe - Co - Ni - Cu - V, полученные магнетронным распылением, имеют нанокристаллическую микроструктуру, текстурированы и представляют собой твердый двухфазный раствор, кристаллизующийся в фазах ОЦК (a = 2,91 ангстрем) и ГЦК (a = 3,65 ангстрем). Ионная бомбардировка растущего покрытия, создаваемая прикладываемым к подложке напряжением смещения (0 - ( - 200) В) снижает скорость роста конденсата и влияет на его состав и структуру. Показано, что состав покрытий, осажденных без ионной бомбардировки, совпадает с составом мишени, а повышение интенсивности ионной бомбардировки приводит к его обеднению по Al, Cu и Ni и увеличивает микротвердость покрытий. Выявлена анизотропия полученных покрытий.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"


	Наукова періодика України		Надтверді матеріали