Исследовано влияние условий осаждения на структуру, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления. Показано, что в зависимости от приложенного потенциала смещения и температуры подложки происходит формирование покрытий различной структуры - от аморфноподобной до нанокристаллической. При оптимальных энергетических условиях - потенциале смещения 50 В и температуре подложки ~ 500 <$E symbol Р>C - получены сверхстехиометрические тонкие пленки диборидов переходных металлов с размером зерна ~ 20 - 40 нм, твердостью ~ 44 ГПа и аномально высоким (~ 90 %) упругим восстановлением глубины отпечатка.

  Повний текст PDF - 394.378 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"