Створено матрицю газочутливих елементів на основі наноструктур поруватого кремнію. Вивчено вплив адсорбції молекул води, аміаку, метану та етанолу на імпеданс сенсорних структур. Встановлено, що електрохімічне осадження нанокластерів паладію та оксиду цинку на поверхню поруватого кремнію забезпечує підвищення чутливості та селективності сенсорів. На основі одержаних сенсорних елементів та використанні інформаційних технологій створено систему ідентифікації газу та визначення його концентрації у повітряній атмосфері. Для ідентифікації газу використано перехресні залежності характеристик сенсорів. Одержані результати розширюють перспективу застосування наноструктур поруватого кремнію у сенсорних пристроях.

  Повний текст PDF - 716.593 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"