Структурні та оптичні властивості шарів ZnSO, одержаних термічним окисленням тонких плівок ZnS

Хомяк, В. В.

Тонкі плівки ZnS, вирощені високочастотним (ВЧ) розпилюванням на c-Al2O3 та Si підкладках за <$E300~symbol Р roman C> та проведено їх термічне окиснення на повітрі в інтервалі температур від 450 до <$E800~symbol Р roman C>. Проведення відпалу плівок ZnS призводить до утворення як шарів ZnSО з різним вмістом сірки і кисню, так і шарів чистого ZnО, про що свідчать результати XRD аналізу та спектри оптичного пропускання. Для цих плівок із оптичного пропускання було визначено залежність ширини забороненої зони від умов їх термічного окиснення на повітрі.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"


	Наукова періодика України		Сенсорна електроніка і мікросистемні технології