| Наукова періодика України |
| Сенсорна електроніка і мікросистемні технології |
Фастиковський П. П. Про лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих мон – структур з нанорозмірним оксидним шаром / П. П. Фастиковський, М. А. Глауберман // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2015. - Т. 12, № 4. - С. 44-50. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2015_12_4_7 Спостережувана експериментально лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих МОН - структур з нанорозмірним оксидним шаром, що знаходяться в режимах збіднення або слабкої інверсії, обгрунтована теоретично. Отриманий вираз для розрахунку робочої характеристики адекватно описує експериментальні залежності. Показано, що лінійність робочої характеристики обумовлена лінійністю зміни поверхневого потенціалу структури від вологості, а лінійність поверхневого потенціалу визначається параметрами структури та лінійністю зміни щільності поверхневих станів на межі розділу кремній - оксид. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Фастиковський П. П. Про лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих мон – структур з нанорозмірним оксидним шаром / П. П. Фастиковський, М. А. Глауберман // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2015. - Т. 12, № 4. - С. 44-50. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2015_12_4_7. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
