Наукова періодика України Сенсорна електроніка і мікросистемні технології


Зайцева Л. В. 
Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/Polyimide/Al2O3 / Л. В. Зайцева, Г. С. Хрипунов, Р. В. Зайцев, Б. М. Горкунов, А. Л. Хрипунова // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2015. - Т. 12, № 2. - С. 42-47. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2015_12_2_6
Розглянуто ключову проблему безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких шарів у ємнісних перетворювачах на основі структури Al/ITO/поліімід/Al2O3 загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх олержання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al2O3.
  Повний текст PDF - 668.968 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Зайцева Л.
  • Хрипунов Г.
  • Зайцев Р.
  • Горкунов Б.
  • Хрипунова А.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Зайцева Л. В. Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/Polyimide/Al2O3 / Л. В. Зайцева, Г. С. Хрипунов, Р. В. Зайцев, Б. М. Горкунов, А. Л. Хрипунова // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2015. - Т. 12, № 2. - С. 42-47. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2015_12_2_6.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Хрипунов Геннадій Семенович (1963–) (фізико-математичні науки)
  • Зайцев Роман Валентинович (1986–) (фізико-математичні науки)
  • Горкунов Борис Митрофанович (технічні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського