Предложена конструкция высокочувствительного двухпортового ПАВ сенсора на подложке 128YX - LiNbO3 с чувствительным элементом на основе наностержней ZnO. Разработана технология низкотемпературного синтеза высококачественных наностержней ZnO, исследованы их морфометрические характеристики с помощью методов сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной спектрометрии и рентгеноструктурного анализа. Построены физические модели ПАВ сенсора и ПАВ сенсора с наностержнями ZnO, проанализирована чувствительность таких сенсоров с помощью метода конечных элементов. Показано, что ПАВ сенсор имеет чувствительность к инерционной нагрузке <$E3,89~cdot~10 sup -15> г/Гц, а при применении наностержней ZnO чувствительность увеличивается до <$E6,24~cdot~10 sup -17> г/Гц.

  Повний текст PDF - 1.426 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"