Effect of substrate temperature on structural, optical and electrical properties of al-doped zinc oxide thin films deposited by layer-by-layer method at magnetron sputtering

Dranchuk, M. V.; Ievtushenko, A. I.; Karpyna, V. A.; Lytvyn, O. S.; Romanyuk, V. R.; Tkach, V. M.; Baturin, V. A.; Karpenko, O. Y.; Kuznetsov, V. M.; Popovych, V. I.

Легированные алюминием тонкие пленки ZnO (AZO) выращены на кремниевых и стеклянных подложках с помощью метода послойного роста в магнетронном распылении при разной температуре подложки. Анализ с помощью атомно-силовой микроскопии показал, что пленки AZO являются очень гладкими со средним значением среднеквадратичной шероховатости 2,3 нм. В результате проведения энерго-дисперсионного рентгеновского анализа установлено, что содержание алюминия в пленках AZO составляет примерно 1 ат. %. Рентгеновские исследования показали, что все легированные алюминием пленки ZnO является поликристаллическими с гексагональной структурой вюрцита с осью с ориентированной перпендикулярно плоскости пленки (002). Оптические измерения показали, что все только выращенные пленки имеют высокую прозрачность (84 %) в видимой области спектра и имеют энергетическую щель 3,34 - 3,41 эВ, что свидетельствует о их хорошем оптическом качестве. Наименьшее значение сопротивления составило <$E1,7~cdot~10 sup -2 ~roman {Ом~cdot~см}> для пленки AZO, выращенной при температуре подложки <$E350~symbol Р roman C>.


	Наукова періодика України		Сенсорна електроніка і мікросистемні технології