Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO2, полученных методом магнетронного распыления

Хрипунов, Г. С.; Пирогов, А. В.; Новиков, В. А.; Хрипунова, А. Л.


	Наукова періодика України		Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Хрипунов Г. С.
Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO2, полученных методом магнетронного распыления / Г. С. Хрипунов, А. В. Пирогов, В. А. Новиков, А. Л. Хрипунова // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2014. - Т. 11, № 3. - С. 42-48. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2014_11_3_7

Для создания промышленных технологий изготовления газовых датчиков и фронтальных электродов пленочных солнечных элементов исследовано влияние мощности магнетронного распыления и концентрации кислорода в рабочем газе на воспроизводимость электрической проводимости пленок диоксида олова. Экспериментально показано, что для повышения воспроизводимости электрических свойств необходимо снизить электрическую мощность до 10 Вт и повысить концентрацию кислорода до 50 %.

Повний текст PDF - 658.224 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Хрипунов Г. С. Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO2, полученных методом магнетронного распыления / Г. С. Хрипунов, А. В. Пирогов, В. А. Новиков, А. Л. Хрипунова // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2014. - Т. 11, № 3. - С. 42-48. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2014_11_3_7.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Хрипунов Геннадій Семенович (1963–) (фізико-математичні науки)

Новіков Всеволод Олександрович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача