Наведено результати досліджень геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, одержаних на чотирьох різних РЕМ у діапазоні збільшень від M = 1000^x до M = 10 000^x. Акцентовано увагу на особливостях запису цифрових РЕМ-зображень для різних РЕМ, встановленні їх реальних фізичних розмірів, урахування яких надає можливість коректно визначати та враховувати як лінійні (масштабні) спотворення (DELTAM = +- 3 %), так і нелінійні спотворення геометрії РЕМ-знімків (до +- 1,5 мм або +- 15 пікселів) за розмірів зображення 120 x 90 мм. Найефективнішим методом їх врахування є метод поліноміальної апроксимації, після якої їх залишкові значення не перевищують +- 0,3 мм (+- 3 піксели). Це надає змогу одержувати просторові кількісні параметри мікроповерхонь дослідних об'єктів з високою точністю, зокрема у разі збільшення (масштабу) зображень M = 1000^x: m_x = m_y = 0,1 +- 0,3 мкм, m_h(Z) = 1 +- 1,5 мкм, а якщо M = 25 000^x - m_x = _y = 0,005 +- 0,01 мкм, m_h(Z) = 0,1 +- 0,2 мкм.

  Повний текст PDF - 632.173 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"